加速度センサは、物体にかかる加速度を検出することができるセンサです。
衝撃を検知したり、物体の傾きを測定したりするために使われます。
この記事では加速度センサの仕組みについて説明します。
加速度センサの仕組み
加速度センサの方式には様々なものがありますが、ここでは次の3つについて解説します。
- 静電容量型
- ピエゾ抵抗型
- 熱検知型
静電容量型
静電容量型の加速度センサでは、次のような構造が用いられます。
左の部分は固定されており、右の部分が加速度に応じた慣性力によって動く可動部になります。
ここに加速度がかかると、次のようになります。
上向きに加速度がかかると、その逆向きに慣性力がかかります。
この慣性力によって固定部と可動部の距離が変わり、その間の静電容量が変わります。
この静電容量の変化を検知し、加速度を測定します。
ピエゾ抵抗型
固定部と可動部をピエゾ抵抗で接続することで、歪みを検出します。
熱検知型
ヒータで対流を発生させ、加速度による対流の変化を検出します。